Mitterweile habe ich den Chip der ersten optischen Maus einmal genauer betrachtet und vermessen.
Es ist ja nich immer ganz einfach, die feine Stuktur eines Chips unter dem Mirkoskop deutlich zu erkennen, da Mikroskope mit hoher Vergrößerung nach dem Durchlicht Prinzip arbeiten.

Geht man von einem Durchlicht-Mikroskop aus und entfernt das Okular, dann kann man eine Kamera mit Autofokus bzw. Fokus auf "unendlich" über dem Okular installieren. Beim geeigneten Abstand (Brennweite und kurz darüber) des Okulars ergibt sich eine Abbildung in der Kamera die mit Autofokus erreichbar ist.

Da die Brennweite des Okulars nur etwa 1mm beträgt, ist es ein Problem, das Objekt von oben zu beleuchten. Ein flacher Winkel mit seinem Schattenwurf bei den Konturen auf den Chip ist dabei machmal recht interessant (Bild unten links). Manchmal ist der Spalt zwischen Objekt und Objektiv zu klein, um ausreichend Licht einzubringen.

Ich habe deshalb ausprobiert, eine Glasscheibe unter 45° in den Strahlengang zu bringen und mit einer Leuchtdiode anzustrahlen. (Bild untern rechts). Das Ergebnis hat mich überzeugt. Der interessante Schattenwurf fehlt zwar, aber schon bei geringster Lichststärke ergibt sich ein sehr deutliches Bild der Chipstuktur.

Die quadratischen Zellen auf den Bildern sind die Pixel, die eine Größe von 65µm Kantenlänge haben. Die Größe des Arrays von 18 x 20 ist im Bild oben rechts mit dem gesamten Chip dargestellt. Die Skalen am Rand des BIldes oben rechts haben ein Raster von 0,1mm. Die aktive Fläche ist damit ca. 1,2 mm x 1,3 mm.

Strukturen, die auf den Chip projeziert werden, sollen damit eine Größe von 0,1mm bis 1mm haben.

Manfred