Das Problem könnte ggf. auch eine nicht ganz zuverlässige ISP Verbindung oder Schaltung mit dem µC sein, etwa fehlende Abblockkondensatoren oder eine schwache Stromversorgung (ggf. auch einfach nur über die ISP Signale). Das sollte man auf alle Fälle noch mal Prüfen bevor man den µC als defekt ansieht.