Bei der Messung mit einer Leitfähigen Flüssigkeit kann sich an den Oberflächen eine Grenzschicht aufbauen, ganz ähnlich wie in den Super-Kondensatoren.
Um den Effekt zu verringern sollte der Abstand zwischen den Elektroden relativ groß sein. Es hilft auch wenn der Strom pro Fläche recht kleine ist, also ggf. die Spannung reduzieren - mehr als 0,5 V würde ich da nicht empfehlen, um auch die elektrochemischen Reaktionen zu reduzieren - auch das kann die Zeitabhängigen Effekten führen. Wenn es genauer werden soll, wären getrennte Elektroden für Strom und Spannung eine Lösung - normal geht es aber auch ohne.