Es geht jetzt.

Ich hatte als erstes das Atmel Studio 6.1 update 2.0 (build 2730) (786MB, updated August 2013) installiert. Scheinbar ist das aTeVaL nicht damit kompatibel. Jetzt habe ich das Atmel Studio 6.0-1996 Service Pack 2[1] (799 MB, 2012/11) Installiert und es ging auf auf anhieb.