Löcher deren Durchmesser kleiner als die Materialstärke des Metalls ist kann man nach meinem Wissen nicht ätzen, ein Laser ist zu teuer und Bohrer bleiben die einzige Möglichkeit. Es gibt unter anderem bei http://www.sphinx-tools.ch/content/produkte.htm Mikrobohrer ab 0,05mm. Die maximale Bohrtiefe beträgt bei den Bohrern des Link's 6xDurchmesser.
Durchgoogle doch das Netz nach "Kleinsbohrer", "Reibahle" etc.
Pro Bohrer wirst Du 20 bis 60 Euro investieren müssen.

http://www.google.de/search?hl=de&q=Kleinstbohrer&meta=