Guten Tag,

auf Anhieb hätte ich die Frage, warum du die wait() einsetzt, wenn du die LED per Timer+Interrupt toggelst?
Auch fällt ein, dass du mit
Code:
TIMSK |= (1<<TOIE1);
einen Interrupt beim Überlauf setzt, nicht beim Erreichen des Vergleichswertes.

MfG Nik