Wenn es schnell gehen soll, fließt auch zum Umladen der 5 nF Gate Kapazität schon deutliche Ströme. Weil sich der Strom schnell ändert, reicht das dann auch schon für die kurzen Spannungsspitzen. Das Problem bei der Masse ist nicht so sehr der Widerstand, sondern eher die Induktivität. Die Spannung an verschiedenen Stellen der Masse war eigentlich schon zu erwarten, denn die Quelle der Störungen liegt eher beim Stromkreis mit den 12 V oder 15 V und nicht den 3,3 V für den µC.

Zusätzlich zum Strom für die Gate Kapazität fließt auch noch Strom zum Aufladen der Bootstraping Kondensatoren und ggf. auch ein kurzzeitiger Querstrom im Gate Treiber IC selber.

Ein Bild vom Aufbau bzw. dem Layout um die FETs und Gate Treiber wäre hilfreich.