20KV PWM für Quantengenerator

[koboldmitohnehaare]

Hallo Leute!
Ich benötige noch für meinen Quantengenerator die pulsweiten modulierten 20KV
Versorgungsspannung. Die Spannung vom Hochspannungstrafo habe ich bereits gleichgerichtet und geglättet.
Für die Modulation verwende ich 20 Stück von IKW25N120 IGBT's (1200V), die zwecks Spannungsfestigkeit alle
in Reihe auf eine Dachlatte geschraubt und mit Hochspannungskabel verbunden sind. Jeder IGBT hat einen
eigenen gate-vorwiderstand. Um das Ausgangssignal am Oszi anzeigen zu können benutze ich einen Fluke-Tastkopf.
Nach einem ersten Test (mit nur 12KV) zeigt mir das Oszi jedoch nicht ganz das gewünschte PWM-Signal (siehe Bild).



Wie könnte man dieses PWM-Signal verbessern?

Danke für eure Hilfe!