Die theoretische Auflösung auf 1µm zu bekommen, ist kein Problem.
Aber dein Aufbau wird Spiel haben, das vielleicht 10 oder sogar 100x so groß ist. V.a. wenn du Führungen für 100€ bekommst.
(Es sei denn dein Arbeitgeber legt die restlichen Hunderter drauf)

Dann solltest du auch mal genau messen, wie gut dein Arbeitsraum temperiert ist. Sonst versauen dir die Wärmedehnungen bereits deinen Mikrometer.

Zu den Sensoren selber:
Glaßmessstäbe gibt es in 1µm Auflösung. Magnetmesssysteme, habe ich bisher nicht unter 10µ gesehen. Übliche Magnetmessschieber sind meist mit +-50µ angegeben.
Magnetmessleisten lassen sich aber gut selber bauen. Dazu kannst du dir mal bei AustriaMicroSystems den AS5311 anschauen.