Fuses sind folgende:
CKOPT = 1;
CKSEL1 = 1;
CKSEL2 = 1;
CKSEL3 = 1;
CKSEL0 = 1;
SUT1 = 1;
SUT0 = 0;

Aber beim 16Mhz-Quartz habe ich ja nicht einmal mehr zugriff auf die FuseBits, sogar wenn ich auf internen oszillator umgestellt habe. Ist der Quartz vielleicht kaputt?
10MHz Quartz klappt.