Ich könnte mir vorstellen, dass der Controller bei 5µS nicht mehr richtig mitkommt.
Das würde auch erklären, warum 200/R5 rechts von 100/R10 liegt.

Vielecht könnte man mal eine 2. Versuchsreihe machen, in denen der Servo immer 1000 us kriegt also z.B.

500/R2
200/R5
143/R7
125/R8
100/R10
67/R15
50/R20
40/R25

Besonders die ersten 5 sollten aufschluss über rcycles vermutung geben.

MFG Moritz