Einen weichen Taster bauen, der eine große Auflösung hat.
DMS wurde vorgeschlagen, sie sind meistens elastisch gelagert zur Kraftmessung. (möglich)

Tunnelmikroskop ist wohl zu empfindlich.

Zur Messung allerkleinster Wege werden häufig Induktive Verstimmungen durch Verschiebung von permeablem (magnetisierbarem) oder dämpfendem Material verwendet. (möglich auch komplett im Taster) Die Frequenzmessung oder Phasenmessung ist dann sehr präzise.

Ähnlich aber mit geringerem Aufwand und weniger präzise ist wohl die Lagerung einer gefederten Blende in einer Gabel-Lichtschranke bei der der Spannungswert mit A/D Wandler ausgewertet wird. Das könnte auch in der Größenordnung von 1mV/µm liegen.

Die Ankoppelung an das Bohrfutter habe ich mir noch nicht überlegt, es dürfte dabei nicht rotieren.

Manfred