Hallo!
Öfters wird Frequnzdifferenzieren verwendet, das heisst zwei HF (Quarz + LC) Oszillatoren + Mischer, weil die Grundfreqenzen mit harmonischen dann leichter eliminierbar sind. Ausserdem ist delta F / delta C höher.
Bei grösseren Kondensatoten in NF Bereich werden, so wie der Manf schon schrieb, RC Generatoren verwendet.
Bei genauer Messung von kleinen Änderungen bei grossen Kapazitäten werden grundsätztlich langperiodische lineare Integrationsmethoden mit einer Zeitmessung angewendet.
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