Durchgemessen hatte ich es gleich nach dem Löten, wie ein Wunder keine Brücke nur das bei 2 Kupferleitungen eine Unterbrechung drin war, die ich mit etwas Lötzinn überbrücken musste.

So nun habe ich auch noch zwei Änderungen vorgenommen.

1) 4,7k Wiederstand von RESET -> +5V
2) 100NF Kondensator zwischen AGND und AREF

Gleich an mein Programmiergerät angeschlossen und getestet; es funktioniert Habe testweise eine LED erleuchten lassen.

Das mit den Abblockkondensatoren habe ich nocht nicht ganz verstanden, soll ich an jeden VCC Pin einen 100N Kondensator nach GND brücken?

Das wären dann die 3 bzw. 4, wobei ich ja nun zwischen AGND(63) und AREF(64) bereits einen habe. Dann fehlt noch von VCC(64) nach nochmals AGND(63) und die anderen beiden GND(22+53)/VCC (21+52)

Edit:
PEN habe ich gelesen, dass es unbeschaltet bleiben soll.
PEN (Pin 1) hat für normale ISP-Adapter keine Bedeutung und kann offen gelassen oder direkt mit Vcc verbunden werden.