Bis in den oberen GHz Bereich verwendet man Laufzeitdioden.
Laser mit geringerer Frequenz nennen sich Maser. Mit denen wird es dann oberhalb von einigen THz interessant.

Allgemein werden hohe Frequenzen auch durch Wellenbewegungen auf Elektronenstrahlen erzeugt, longitudinale Bündelung bei der Wanderfeldröhre und im Magnetron. Sehr viel höhere Frequenzen erreicht man durch die transversale Wellenbegegung von Elektronenpakteten mit stationären Magneten. Damit baut man in Beschleunigerringen sogenannte Röntgenlaser mit denen man dann im wesentlichen oberhalb der Frequenz des Lichts bis in den Bereich weicher Röntgenstrahlen relativ schmalbandige Quellen erzeugt.

Zum Einstieg kann man ja mal mit ein paar billigen HF Transistoren deren Grenzfrequenz anpeilen, so um die 6-10GHz oder mit Tunneldioden die Frequenz erreichen. Im allgemeinen ist es aber schwierig, die Signale dann auch nachzuweisen und sich klar darüber zu sein, ob man gerade einen Störsender betreibt. Zu dem Zweck hatte ich in jungen Jahren einmal ein paar leere Kondensmilchdosen entdämpft und die Resonanzmoden nachgerechnet. Wenn die Dose "zu" ist dann tritt auch "keine" HF Leistung aus.