Wenn das ganze nicht 100% stabil läuft, kann es passieren das sich die Fuses umstellen, dann geht nichts mehr.
Wenn der Programmer OK ist, dann mal an XTAL1 einen Takt anlegen, 1MHz wäre ideal, und dann noch mal probieren.
Die Programmierfrequenz darf max. 1/4 der Taktfrequenz sein.