Wenn ich dich richtig verstanden habe möchtest du alle 160 Zyklen eine ISR auslösen. (16MHz/100kHz)

Das kannst du am besten mithilfe des Datenblatts lösen (Timer).
Allerdings ist stark darauf zu achten das innerhalb der ISR nicht viel gemacht wird da du nur 160 Taktzyklen Zeit hast! (Außer du verwendest innerhalb der ISR cli() und sei(), was allerdings bei servoansteuerungen nicht günstig ist)

Nur mal so als Frage: wozu brauchst du dafür 100kHz speed??

MFG