hmm, das ist wirklich sehr ungewöhnlich....
Ich weiß jetzt aber, wieso der dritte Servo bei dir um 10ms verschoben ist: das ist so, weil du beim 16bit Timer ein phase-correct PWM benutzt, da ist der Overflow natürlich in der Mitte der Ganzen Zeit, und nicht am Ende, wie beim Fast-PWM. Das sollte aber keine Probleme bereiten.

Die Periodenlängen und so sind alle richtig umgestellt.

Könntest du vielleicht noch einige Messungen mit dem Oszi hochladen?
Die vom neuen Programm.
Das ist wirklich komisch alles...

Gruß, yaro