Hallo,

wie wärs damit:

Man unterstützt die Platte durch zahlreiche Piezos, welche selbst auf einer massiven Unterlage liegen, welche bereits weitgehend dem Parabolid entspricht. Über die Spannung an den Piezos läßt sich die Unterstützung an vielen Punkten auf nm genau regeln, ähnlich wie bei einem Rastertunnelmikroskop.

Viele Grüße

Christian