Eine Simulation haben wir schonmal machen lassen - sah eigentlich auch ganz professionell aus - aber schon bei der ersten Messung haben wir ca. 50% mehr Durchbiegung gemessen als vorausgesagt.

Und wenn der Fehler bei ca. 10µm liegt, wir mit dem Ding aber Strahlung von der Wellenlänge <10nm ablenken wollen, dann reicht es leider nicht aus.

Ich wage langsam zu bezweifeln, daß es überhaupt eine Lösung gibt...