Nun habe ich ein Problem, dass die Messergebnisse nicht linear Verlaufen
Ich habe deine Meßergebnisse mal in Excel dargestellt:
Es wird die Spannung an deinem Widerstand recht gut gemessen.

Es gibt aber einen absoluten Fehler von +0,12V (3 MOhm) bis +0,33V (2,2 kOhm), wobei ich nicht weiß, warum der Fehler nicht linear ist.

Gruß Dirk