Na ja - wenn man ein PWM-Signal mit einer Frequenz von 20 kHz und einer Auflösung von 16 bit erzeugen möchte, bräuchte man selbst im Fast-PWM-Modus eine Taktfrequenz von lustigen 1,31 GHz Bild   (20.000 * 2^16...). Das dürfte hier wohl der limitierende Faktor sein - aber prinzipiell geht 16bit-PWM sehr gut, wenn man die entsprechenden Register direkt setzt.