Moin,
ich hatte dieses Problem auch schon mal, und zwar beim PWMen eines Gehäuselüfters. Abhilfe schaffte eine Kapazität parallel zur Last, bei mir waren es 10µF bei 0,5W (also ca 50mA an 12V). Bei grösseren Lasten benötigt man entsprechend grössere Kapazitäten und dann evtl auch noch einen Widerstand der den Maximalstrom durch den Transistor begrenzt, da die leere Kapazität ja wie ein Kurzschluss wirkt.

Gruss Timo