Ein interrupt alle 10 µs ist schon ziehmlich an der Grenze, da reicht eventuell die Rechenzeit schon nicht mehr aus, bei weniger als 6 MHz Takt.
Nur um etwas hochzuzählen brauchts auch noch keine ISR, das kann der Timer auch gleich in Hardware.

Besser wäre es da schon je Servo Kanal nur einen Interrupt auszulösen wenn der Puls zu ende gehen soll. Wenn mehr Kanäle gbraucht werden, dann die pulse nacheinander erzeugen, nicht gleichzeitig.