Mit dem Timer-Reload von 65520 erreichst Du zwar, dass der Zähler 16 Takte nach seinem Start überläuft. Man muss aber bedenken, dass so ein Interrupt auch eine erhebliche Anzahl an Takten "verbraucht", bis es in die eigentliche ISR geht (es müssen allerlei Registerinhalte gerettet werden etc.). Diese Zyklen kommen also noch dazu, und wenn ich ihren Wert auch nicht genau weiss, liegen sie aber in einer Größenordnung, die die angepeilte Mikrosekunde erheblich verfälschen würden.
Brauchst Du die Zeit denn tatsächlich in Mikrosekunden?