Zum Feinabgleich der Frequenz gibt es ein Register. Man braucht eine einigermaßen genaue Vergleichsfrequenz (z.B. einen externen Quarz).
Genauer beschrieben ist das in den Atmel Appl. Note 53-55:
http://www.atmel.com/dyn/products/ap...?family_id=607

Alternativ kann man halt die Frequenz nachmessen und das Programm an den etwas anderen Takt anpassen.