Die Schaltung sieht so weit Ok aus. Es fehlt zwar der 2 te Entkoppelkondesator bei AGND/AVCC, aber das ist eher ein Schönheitsfehler und sollte nicht den Controller zerstören. Die Ursache für die Defekte ist wohl eher im Rest der Schaltung zu suchen. Das Könnten ESD Probleme oder ein schlechter (schwingender) Spannungsregler sein. Wobei gab es denn Probleme mit den Controllern ?
Oft werden einfach nur die Fuses verstellt, und der Controller stellt sich nur tot.