Danke für die Hinweise. Ich hab ihn auch an MISO angeschlossen. Da habe ich mich vertan, tut mir leid. Das scheint also nicht das Problem zu sein. Neu ist mir aber, dass MISO grundsätzlich einen Pullup Widerstand braucht. Ich versuchs mal mit einem größeren. Oder brauche ich einen separaten Pullup Widerstand, der zwischen Pin 6 des Attinys und Pin 1 des Programmers liegt? Im Datenblatt des Attinys habe ich leider nichts dazu gefunden.
Gibt es eigentlich grundsätzlich bzw. häufig Probleme, wenn man die Pins, die zur Programmierung gebraucht werden, nebenbei auch für andere Zwecke nutzt? Das lässt sich ja beim Attiny13 kaum vermeiden. Ich hab da ständig Probleme. Gibts dazu vielleicht auch eine Faustregel (Dioden, Widerstände oder ähnliches)?

Grüße tob