Hi,
welchen Programmer verwendest du ?
Hast du vielleicht die ISP Frequenz zu hoch eingestellt ?
Ist die ISP Frequenz zu hoch, kommen falsche Rückmeldungen.
Vielleicht werden dann auch die Fuses falsch gesetzt.
Falls du ein STK 500 hast, kannst du mal nachsehen, ob der Tiny mit HV-Programmierung wiederzubeleben ist.
(Keine Ahnung, ob das bei den Tinys geht)

Gruß
Christopher