Die 10 nF hinter dem Spannungsregler sind etwas knapp. Im Datenblatt nachlesen was gebraucht wird. Ein schwingender Regler sind eine möglichkeit den Controller zu verheitzen.
Direkt an den Controller sollten auch noch Abblockkondensatoren. Der Kondensator an Aref sollte nach AGND, nicht nach AVcc. Ein Kurzschluß an Aref sollte aber eher ungefährlich sein, denn der Ausgang ist relativ hochohmig.