Hallo,
es sollte in 10µs Schritten gemessen werden, aber die Zeit (10µs) wird nur in einer Warteschleife gezählt. DH. in deinem Fall ist die Schleife 516 mal durchlaufen, bis sich der Wert am Eingang geändert hat. Zum vergleichen von verschiedenen Werten reichts allemal.

Wenn mans genauer haben will, sollte man Timer und INT-Eingang o.ä. dazu verwenden.