Ich würde sagen du hast es geschafft. Sie sind nicht kaputt, sondern nur falsch gefused. Wenn du tatsächlich überall einen Haken gesetzt hast, dann hast du auf Externen Clock gestellt. Siehe auch hier: http://palmavr.sourceforge.net
Wenn du noch einen funktionierende AVR hast mit ext.Quarz oder einen Quarzoszillator oder sonst einen Taktgeber mit TTL-Pegel, dann schließe diesen auf XTAL1 an und das Fusen geht wieder.