Die AVR Chips sind eigentlich recht robust. Ich habe noch keinen kaputt gekriegt, selbst 8 V hat einer überlebt. Eher ein Problem mit dem Programmierer, Kabel (? MSIO und MOSI vertauscht ?), der Versorgungsspannung oder dem Takt. Da hier sogar ein Oszillator drauf ist sollte es der Takt eigentlich nicht sein.
Ist denn die Versorgungsspannung OK ?.
Sonst einfach mal das Layout posten, da sieht man manchmal Fehler besser.