CMOS sollte schon ok sein, denn der Mega32 ist sicher auch ein CMOS-Bauteil.
Zwischen 573 und 373 gibt es einen sehr wesentlichen Unterschied:
beim 573 sind die Eingänge auf der einen und die Ausgänge auf der anderen Seite, beim 373 ist es etwas 'durcheinander'.
Probier doch mal HCT und LS aus. Es wird Dich kostenmäßig sicherlich nicht ruinieren und die Erfahrung ist unbezahlbar.

Hatten wir eigentlich schon über 100nF Keramik-Kondensatoren am µC und SRAM gesprochen ? Diese 80ns-Dinger schalten recht schnell und hinterlassen 'Spuren' auf der Versorgungsspannung. Das stört schon mal die eine oder andere benachbarte Speicherstelle