Grundsätzlich kann man so Kapazitäten messen:
http://www.klausrohwer.de/privat/hob...mess/index.htm

Im Bereich Feuchtigkeitssensoren gibt es Schaltungen zur Messung kleiner Kapazitäten.

Als Spezialschaltung gibt es auch dieses UTI
http://www.smartec.nl/interface_uti.htm