Ich konnte einen Tiny2313 nicht mehr programmieren da ich die MISO MOSI und SCK Pins als Ausgänge benutzt habe, vllt. ist das auch bei dir, ich habe damals kurz einen Reset vor dem Programmieren gemacht dann gings
Das sollte normalerweise keine Rolle spielen denn wenn am Reset der Pegel auf 0 gelegt wird geht der Controller in den Programiermodus und MISO,MOSI,SCK werden automatisch zu ein- bzw. Ausgängen.
Vieleicht war bei dir die Treiberleistung zu gerin bzw. Pullup und C zu klein/Groß.