Tschuldigung - Deine Frage ist zwar schon etwas älter, aber ich hatte so ein ähnliches Problem (beim Mega
Hast Du schonmal ins Datenblatt auf Seite 55/324/347 geschaut?
Guck Dir mal die Toleranzen der internen Bandgap und Referenz an!
(VINT Internal Voltage Reference)
Die ist mit 2,3V bis 2,7V angegeben und alles andere als genau!
Bastel Dir eine externe Referenz und schalt die interne ab und dann geht dat

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