> Wenn ich nichts angeschlossen habe, saugt er so ca. 100mA

Das ist aber mit Sicherheit nicht normal. In den Datenblättern ist die höchste Stromaufnahme ohne externe Lasten meist bei ca. 20mA.

Den Sinn der Widerstandsmessung versteh ich auch nicht wirklich, man müsste wenn überhaupt mit genau gleichen Strömen arbeiten um einen vergleichbaren Wert zu erhalten, da Halbleiter nicht wirklich linear sind.

Ich vermute trotzdem, dass der AtMega kaputt ist. Wenn der bei 5V heiß wird, dann ist das nicht normal. Hast du mal geschaut ob er nicht versehentlich genau falsch herum in der Fassung steckt? Da werden die auch schön warm. Ansonsten würde ich den mal austauschen.