Hat sich erledigt..
es lag am Timer der wahr zu langsam..

so funktionierts:
TCCR1A = 0;
TCCR1B = (1 << WGM12) | (1 << CS10);
OCR1A = (uint16_t) ((uint32_t) F_CPU / 100000 -1);
TIMSK |= (1 << OCIE1A);