So, hier mal ein paar Denkansätze von meiner Seite zu diesem Thema:

Vergiss den "Vorlader" !
Vergiss den Prescaler wenn du eine größere Genauigkeit willst, denn du hast nur 20000 Takte je Periode zur Verfügung (=20 ms).
Ohne Prescaller braucht man also 1500 Takte um die 1,5 ms abzudecken.

Mein Vorschlag dazu: Der Timermode: 14 (siehe Datenblatt Seite 109).

in das ICR1 Register gehört dazu der maximale Zählerwert. (in dem Fall 20000).
In die OCR1A & OCR1B Register der Wert 1500

Anschlißed noch die COM1A & COM1B Bits richtig setzen und der µC mach dir 2 Fast PWM's mit einer Periodendauer von 20 ms und einem High Anteil von 1,5 ms.

Damit ließen sich z.B. 2 Servos ohne Rechenzeit ansteuern.

Grüße,

da Hanni.