Probier doch mal nen anderen PC oder Laptop, besser einen anderen ISP Programmer zum proggen. Vielleicht hast du deinen COM-Port geschossen. Das kann glaube ich passieren, wenn man direkt am Port geht (auch mit Widersänden) und sich verschaltet. Besser einen Programmer, der die Signalleitung galvanisch trennt. Beispiele findest du bei Mikrocontroller.net oder im Netz.

Mfg
memby