Seltsam.

Ich hab das Heut früh nochmal an nem M16 überprüft der hier vor mir liegt und da sind beim Parameter "Off" für die Ref. nur einige mV zu messen die unter der Rubrik "Messungenauigkeit" zu verbuchen sind.

Der M32 unterscheidt sich vom M16 primär nur in der Speicheraustattung.
Der Kern ist identisch (Angabe des Herstellers)

kennst du zufällig den eingangswiderstand des aref pin?

Ja,gerade nachgelesen.
Der Beträgt 32Kohm (Tabelle 122 unter "ADC Characteristics – Preliminary")

Wenn ich ne eigene Referenz nutze dann bis jetzt immer in Form eine Sehr Stabilen Aktiven Schaltung.

Den Teiler aus 10/15K werd ich nacher mal aufbauen und schauen was dabei rauskommt.