Zur Info!
Problem gefunden! Der 100nF Kondensator beim Mega war etwas weit weg, ca 2 cm zu viel! Da kann man mal sehen wie empfindlich die Teile doch sind und das man da echt aufpassen muss. Bis 8 Mhz hat das keine Probleme gemacht, aber bei 16 Mhz ist das wohl schon zuviel Abstand gewesen.
Problem erkannt, Problem gebannt

Gruß Frank