IMHO:
- Schenk' Die die 1000u, 100 reichen, wenn Du mehr Strom für andere Teile der Applikation brauchst, würde ich die später über einen eigenen Spannungswandler speisen.

Falls Du mehr machen willst als analoge Spannungen zu schätzen: Schau mal ins Datenblatt vom 323, da ist eine Schaltung mit einer Spule drin, mit der die Analogversorgung vom digitalen Teil entkoppelt wird. So bekommst Du später viel bessere Meßwerte.

Falls Du kein Problem mit der Bauhöhe hast: Nimm einen stehenden 7805. Spart Platz und im Zweifelsfall kannst Du den noch kühlen, was nötig wird, wenn Du z.B. eine sehr hohe Eingangsspannung hast.

Zwischen GND und VCC solltest Du noch 100nF packen. Ebenfalls zwischen AVCC und AGND. Zwischen Vcc und AVcc eine 47uH Spule (hatte ich oben schon erwähnt). Die Kondensatoren kann man übrigens sehr schön in den IC Sockel packen. Dann wird meistens auch besser geroutet.