Zuerst mal zu Deinen 22MOhm: das Datenblatt garantiert >1MOhm unterhalb des Ansprechbereiches von 0,3-1N, um es im Slang des Kriegsschauspielplatzes Strasse zu sagen: wo is problem?
Im Bereich >1N sollte er natürlich weniger als 22M haben, da stimme ich Dir zu. Zu meinem Schaltungsvorschlag: Sensor zwischen +5V und ADC-Eingang, 2,7kOhm zwischen ADC-Eingang und Masse. Dann die Referenz des ADC auf 2,5V einstellen, so hast Du bei 2,7k Sensorwiderstand den "Vollausschlag" Deines ADC. Die 3,3k, die ich vorhin vorgeschlagen habe, waren 10% in die falsche Richtung gedacht. Eine Z-Diode brauchst Du nicht wirklich, es sei denn, die Leitungen zu den Sensoren sind länglich, dann können u.U. Störspitzen von aussen an den ADC gelangen. Entweder Du schaltest besagte Z-Diode vom ADC-Eingang nach Masse oder einen Schutzwiderstand in Reihe zwischen den Spannungsteiler aus Sensor und 2,7k-Widerstand und ADC-Eingang, der kann dann ja auch grösser ausfallen. Ich habe mal ins Datenblatt vom mega16 geguckt, keine Ahnung, welcher auf dem RN-Modul sitzt und vor allem: ob und was da noch vor den Eingang geschaltet ist. Der Eingang ist von 0-Vref spezifiziert, das heisst aber nur, dass nur in diesem Bereich sinnvolle Ergebnisse zu erwarten sind. Was im Fehlerfall am Eingang anliegen darf, beschreiben eher die Absolute Maximum Ratings, und dort darf jeder Pin ausser RST 0,5V über VCC haben - wenn Du den Strom grosszügig begrenzt, reichen also die Eingangsschutzdioden, um das sicherzustellen. Der Eingang hat zwar 100 MOhm Eingangswiderstand, aber beim Start einer Wandlung wird der S&H-Kondensator direkt an den Eingang geschaltet, so dass die Empfehlung, mit der Quellimpedanz nicht unter 10k zu gehen, Sinn macht. Du könntest also einen 10k-Widerstand in Reihe schalten, dann bist Du zwar knapp drüber, aber die Sensoren sind ohnehin so grottenungenau, dass das auch nichts mehr macht. Oder, was sich sowieso gegen kurze Störungen empfiehlt, Du schaltest hinter den Schutzwiderstand noch einen Kondensator vom ADC-Eingang nach Masse. Wenn der dann deutlich grösser ist als der S&H-Kondensator von 14pF, was nun wirklich nicht schwer fällt, reduzierst Du den Fehler wieder.
Und wieso liest hier eigentlich niemand das Datenblatt???????