Es reicht den ADC Vorteiler so einzustellen, dass die 200kHz ADC Frequenz bei 10bit Betrieb nicht überschritten wird, s. Datenblatt.

Dann mit möglichst niedriger Quellimpedanz arbeiten und, wie Bernhard schon gesagt hat, kleine Eingangskapazitäten und wenn das nicht reicht Teifpass (Mehrere Male messen und teilen).

Statt ARef über einen externen Trafo zu speisen, wärst Du wahrscheinlich besser mit einer extra Spannungsreferenz dran (wenn es denn richtig genau sein soll). Mit dem zusätzlichen Trafo kommst Du ebenfalls um eine Spannungsregelung nicht herum.