Im Datenblatt des ATMega ist eine Schaltung angegeben:

10u (ich nehme 47u) von VCC nach AVCC und einen Kondensator 100nF von AVCC nach GND. Die Spule blockt Störspitzen ab und der Kondensator puffert die Spannung an AVcc.

Die Schaltung mit Widerstand und Kondensator geht auch, hat aber eine nicht ganz so gute Störunterdrückung. In dem Fall solltest Du zwei 100nF Kondensatoren und einen ausreichend großen Widerstand nehmen, musst dabei aber beachten, das AVcc nach dem Einschalten etwas Zeit braucht um auf den Zielwert zu kommen.