Das sicherste und stabilste ist der Weg:
100MHz stabil erzeugen, mit TTL geht das noch einigermaßen, dann die 5. Oberwelle ausfiltern und verstärken.
Je nach Anforderung an die Stabilität kann es auch besser sein mit 20MHz anzufangen und bei 100MHz das Signal noch mal durch ein Gatter laufen zu lassen.
Ob Du wirklich ein 5V Signal bei 500MHz brauchst mußt Du dann sehen wenn es an den Treiber für 500MHz geht.
Manfred