Verwendest Du AVR-Studio ? Ich glaube bei älteren Versionen ging der Attiny13 noch nicht.

Meine Version:
AVR-Studio 4.12 Build 452
AVR-GCC 3.4.3

Hier ein Beispielprogramm, welches bei mir ohne Problem compliliert werden kann:

Code:
/**********************************************************************

	Portpin Toogle Testprogramm
	
	Processor: Attiny 13 

	Dez.2005 stochri

**********************************************************************/

#include <avr/io.h>

void init_timer()
{

	TCCR0A=(1<<COM0A0) | 0x02; //CTC mode and toogle OC0A port on compare match
	
	TCCR0B=0x02; // internal clock source devided by 8

    OCR0A=124; // Compare value	
}

void delay()
{
	while(!(TIFR0<<OCF0A)); // wait for compare flag
	TIFR0|=1<<OCF0A; // clear compare flag
}


int main(void)
{
	int n;
	int temp;

	// Ports
	DDRB=(1<<PINB0) | (1<<PINB1) | (1<<PINB2); // Pins as output ( Pin OC0A )	

	init_timer();

	temp=500;

	while(1)
	{

		for(n=0;n<temp;n++) delay();
		// create Puls at PortB2
		PORTB|=0x04;

		for(n=0;n<temp;n++) delay();
		PORTB&=0xFB;
	}


	return 0;
}
Läuft's jetzt bei Dir ?

Gruss,
stochri