@Manfred:
Der AtMega ist bei mir mit 16MHz getaktet, ich verwende FastPWM mit einer Auflösung von 6Bit. Das reicht völlig aus, um 1/16 Mikroschritte ohne großen Fehler nahe dem "idealen Sinus" zu erzeugen. So kommt man auf eine PWM-Frequenz von 250kHz. Tiefpassfilter zweiter Ordnung übernehmen die Glättung der PWM-Signale. Auf dem Oszi sieht der Sinus bei 10kHz noch recht sauber aus, viel höhere Frequenzen kann ich im 1/16 Mikroschrittbetrieb aufgrund schlechter Programmierung sowieso nicht erzeugen...

Gruß, Ruppi